設備用途：用于大規模集成電路、太陽能電池片、電力電子、光電器件、光導纖維等行業的氧化、擴散、燒結、合金等工藝。

設備特點：單元組合方式。根據工藝的不同，可以在主機的基礎上配氣源柜、超凈工作臺、懸臂推拉舟等。     

主要技術指標：

★  爐管數：    1～4管

★  配工藝管口徑：Φ90～360 mm (3～12英寸)

★  恒溫區長度：  760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)

760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)

★  單點穩定性：  ±1.0℃/24h (300～800℃)

±0.5℃/24h (800～1280℃)

★  氣源路數：    ≤7路，可配恒溫源瓶、氫氧合成點火器

★  氣體控制：    浮子/質量流量計

★  懸臂舟參數：  速度：    20～1000 mm/min

                 大行程：2000 mm

                定位精度：±1 mm 

                 大載荷：17 Kg

★  超凈工作臺：  凈化等級：100級（萬級廠房）

噪音：    ≤62dB（A）

振動：    ≤3μm