一、管式擴散爐用途
管式擴散爐是我公司根據客戶需求個性化定制的高溫熱處理設備，用于大規模集成電路、分立器件、電力電子、光電器件、光導纖維等行業中進行擴散、氧化、退火、合金及燒結等工藝，我公司的高溫電爐關鍵部件全部采用進口部件，仿國外熱處理制造技術，已經被中科院、國內各大院校、國內多家廠家選為長期供貨商，團隊設計制造，可根據客戶不同需求定制，廠家直接供貨，質優價廉。
 

二、管式擴散爐特點  

◆軟著陸載片裝置

軟著陸送料裝置，避免了SiC槳的遮擋影響，提高了擴散均勻性，同時槳的清洗周期大幅度延長。

◆溫度控制

新型爐體設計，提高了溫度穩定性；配合溫控儀的使用，保證工藝過程中溫度的快速穩定。

◆進口元器件組合

關鍵件采用進口管件，且為半導體級別；的元器件組合，從而保證成膜質量。
         

三、管式擴散爐主要技術參數                             

◆工藝管數量：1-4管

◆工藝管口徑：Φ90-360mm（3～12英寸）

◆工作溫度范圍：400～1280℃

◆恒溫區長度及精度±0.5℃/1080mm

◆工藝均勻性:≤±5％（30~60歐姆）

◆氣體流量設定精度:±1％F.S

◆氣路系統氣密性： 1×10-7pa.m3/s

◆超凈工作臺：凈化等級：100級（萬級廠房） 噪音：≤62dB（A） 震動：≤3μm

◆控制方式： 工業微機控制

◆記錄工藝曲線數量及工藝步數不受限制

我公司可根據客戶要求，定制各式擴散爐、退火爐、燒結爐、真空焊接爐、CVD

爐、加熱電爐及加熱裝置等，歡迎廣大客戶來電咨詢。