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ASML 真空調節器 4022.639.82381

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詳細信息

ASML 真空調節器 4022.639.82381

ASML 真空調節器 4022.639.82381產品簡介

寧德潤恒自動化專注于半導體設備核心部件供應,現提供原裝ASML真空調節器4022.639.82381,專為光刻機真空控制系統設計,確保設備運行穩定性與工藝精度。該真空調節器具備壓力調節能力,廣泛應用于晶圓制造、先進封裝等半導體生產環節。



核心參數與技術特性

1. 


壓力調節范圍


○ 


工作氣壓:0.1~10 Torr(支持定制化壓力區間)


○ 


調節精度:±0.01 Torr,滿足納米級工藝要求


2. 


流體控制性能


○ 


大流量:30 slm(標準狀態下)


○ 


響應時間:≤1ms,實現快速壓力穩定


3. 


接口與兼容性


○ 


電氣接口:RS-485通訊協議,支持SECS/GEM半導體設備標準


○ 


機械接口:DN16 ISO-KF法蘭,兼容主流光刻機真空系統


4. 


環境適應性


○ 


工作溫度:-20℃~60℃


○ 


防護等級:IP65,抗腐蝕設計,適用于潔凈室環境



產品優勢

● 


穩定控制:內置PID算法與閉環反饋系統,有效抑制壓力波動,保障光刻工藝一致性。


● 


長壽命設計:采用進口陶瓷密封件與不銹鋼閥體,耐受百萬次循環測試,降低設備維護成本。


● 


快速交付能力:寧德潤恒自動化擁有ASML備件戰略庫存,常規型號可實現7-15天交貨。



應用領域

● 


適用于ASML:TWINSCAN NXT:1950i/2050i/2100i光刻機


● 


兼容設備:真空腔體壓力控制、晶圓傳輸模塊、曝光系統



結語

ASML真空調節器4022.639.82381是半導體制造的關鍵部件,其與穩定性為先進制程保駕護航。寧德潤恒自動化依托原廠渠道與技術服務團隊,為客戶提供從選型咨詢到安裝調試的全流程支持,助力客戶提升設備稼動率與產能效率。



ASML 真空調節器 4022.639.82381


聯系方式
  • 聯系人: 先生
  • 職位: 銷售部門
  • 手機: 18596688429
  • 址: 福建省 寧德市 福建省寧德市蕉城區溪乾路二弄44-3號401室
公司簡介
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