ASML 真空調節器 4022.639.82381
ASML 真空調節器 4022.639.82381產品簡介
寧德潤恒自動化專注于半導體設備核心部件供應,現提供原裝ASML真空調節器4022.639.82381,專為光刻機真空控制系統設計,確保設備運行穩定性與工藝精度。該真空調節器具備壓力調節能力,廣泛應用于晶圓制造、先進封裝等半導體生產環節。
核心參數與技術特性
1.
壓力調節范圍
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工作氣壓:0.1~10 Torr(支持定制化壓力區間)
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調節精度:±0.01 Torr,滿足納米級工藝要求
2.
流體控制性能
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大流量:30 slm(標準狀態下)
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響應時間:≤1ms,實現快速壓力穩定
3.
接口與兼容性
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電氣接口:RS-485通訊協議,支持SECS/GEM半導體設備標準
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機械接口:DN16 ISO-KF法蘭,兼容主流光刻機真空系統
4.
環境適應性
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工作溫度:-20℃~60℃
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防護等級:IP65,抗腐蝕設計,適用于潔凈室環境
產品優勢
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穩定控制:內置PID算法與閉環反饋系統,有效抑制壓力波動,保障光刻工藝一致性。
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長壽命設計:采用進口陶瓷密封件與不銹鋼閥體,耐受百萬次循環測試,降低設備維護成本。
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快速交付能力:寧德潤恒自動化擁有ASML備件戰略庫存,常規型號可實現7-15天交貨。
應用領域
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適用于ASML:TWINSCAN NXT:1950i/2050i/2100i光刻機
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兼容設備:真空腔體壓力控制、晶圓傳輸模塊、曝光系統
結語
ASML真空調節器4022.639.82381是半導體制造的關鍵部件,其與穩定性為先進制程保駕護航。寧德潤恒自動化依托原廠渠道與技術服務團隊,為客戶提供從選型咨詢到安裝調試的全流程支持,助力客戶提升設備稼動率與產能效率。
ASML 真空調節器 4022.639.82381