以場發射 (FE) 電子槍為特色的JEOL電子探針顯微分析儀（ EPMA），帶來了表面分析的革命。JXA-8530F在繼承了JXA-8500F的強力硬件（包括 FE 電子槍、電子光學系統和真空系統）的同時，采用電腦操作進行數據的采集和分析，實現了微區分析。友好的PC控制操作環境，使得在的放大倍數下能夠便利地進行快速、便捷的分析。 - PC平臺操作 - 用FE電子槍進行高空間分辨率成像 - “Click Point Analysis”功能和用戶菜單（User,s recipe） - 先進的操作 - WD/ED組合系統