ASML 4022.487.392阿斯麥
ASML 4022.487.392阿斯麥核心部件簡介及參數解析
作為的半導體設備供應商，ASML（阿斯麥）的光刻系統核心組件——4022.487.392 在先進芯片制造中扮演著關鍵角色。寧德潤恒自動化憑借與ASML的緊密合作，現為中國市場提供該核心部件的供應與技術支持。本文將對該部件的技術參數及應用場景進行專業解析。
一、產品概述
型號：ASML 4022.487.392類別：光刻機核心光學控制模塊功能： 該模塊是ASML極紫外（EUV）光刻機的重要組成部分，主要用于光源穩定控制與光束路徑優化，確保芯片制造過程中的納米級精度。其高穩定性與低誤差特性，是7nm及以下制程節點的關鍵技術保障。
二、技術規格
1.
光學性能
○
波長范圍：13.5nm（EUV光源）
○
光束穩定性：±0.5nm（典型值）
○
反射率：≥99.8%（EUV波段）
2.
機械參數
○
尺寸：650mm×420mm×300mm（L×W×H）
○
重量：約85kg
○
工作溫度：20℃±1℃（恒溫控制）
3.
電氣特性
○
供電電壓：DC 48V±5%
○
功耗：≤350W
○
控制接口：ASML數字通信協議（需配套軟件支持）
4.
精度指標
○
定位精度：±0.5μm（XYZ三軸）
○
重復精度：±0.2μm
三、應用場景
該模塊主要應用于：
●
EUV光刻機光源系統：穩定極紫外光源輸出，降低干涉誤差
●
光束整形與校準：優化光路路徑，提升成像分辨率
●
先進制程節點：適用于7nm、5nm及3nm芯片制造工藝
四、寧德潤恒自動化服務優勢
1.
正品保障：ASML原廠授權渠道，100%正品貨源
2.
技術支持：提供設備安裝調試、參數校準及維護培訓
3.
快速交付：庫存調配，平均交付周期≤4周
4.
售后響應：24小時技術熱線，48小時內現場支持（中國大陸）
結語
ASML 4022.487.392模塊作為EUV光刻機的“光學大腦”，其納米級精度與穩定性為芯片制造提供了核心保障。寧德潤恒自動化將持續為中國半導體產業提供該關鍵部件的供應及技術服務，助力國產芯片工藝邁向更高水平。
ASML 4022.487.392阿斯麥
豫公網安備41010502000017號 
