半導體廢氣處理-過濾沸石轉輪RTO

采用“過濾+沸石轉輪+RTO”工藝處理后通過排氣筒達標排放。本企業對現有FAB3有機廢氣處理系統進行升級改造，利用已有收集管路系統將有機廢氣送至新增的1套過濾+沸石轉輪處理系統中（XF3-8），經沸石轉輪后產生的高濃度濃縮氣送至已建成的RTO處理設施（XF12-11）中進一步處理，經沸石轉輪后產生的低濃度潔凈氣通過新增排氣筒（F3-8）排放，排氣筒高度為35m，設計風量50000Nm3/h。同時進行VOCs在線監測站房的配置。

在現有場地條件下，已建成1套設計風量9700Nm3/h的RTO處理設施，包含了本期經沸石轉輪后產生的高濃度濃縮氣的處理能力，故本期不再單獨建設。

過濾